超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产

📋总体概括

超纯应材在互动平台披露，其面向5nm及以下先进制程刻蚀设备的核心零部件已实现稳定量产。刻蚀设备是芯片制造的关键环节，其核心零部件长期由海外供应商主导。此次稳定量产意味着国产半导体设备上游零部件在先进制程节点取得实质突破，有望增强国内刻蚀设备厂商的供应链自主可控能力，缓解对进口部件的依赖。