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国产光刻机杀入欧洲!江苏海思第17台设备通过验收:马上发运

驱动之家·2026/10/16 02:41:00🔗 原文

📋总体概括

江苏海思半导体(HISIGK)近日完成两台光刻机出厂验收与发运,其中一台出口欧洲,设备需跨越八千公里交付境外客户,这是该公司自2024年以来向境外市场交付的第17台光刻设备。另一台面向8英寸晶圆的全自动掩模对准光刻机用于硅基Micro LED晶圆图形化制程,正面对准精度优于正负0.5微米。公司核心团队深耕黄光区光刻工艺15年,产品从1微米级接触式发展到350纳米分辨率步进式投影光刻机,已在苏州与成都建立双基地,覆盖2至12英寸晶圆。

⚡关键信息

  • ▸江苏海思一台全自动光刻机通过欧洲客户验收后发运,是2024年以来第17台境外交付设备
  • ▸另一台8英寸全自动掩模对准光刻机用于硅基Micro LED晶圆图形化制程,已装车发运
  • ▸设备正面对准精度优于正负0.5微米,可选背面对准模块,精度优于正负2微米
  • ▸核心团队深耕黄光区光刻工艺15年,产品覆盖1微米接触式到350纳米步进式投影光刻机
  • ▸公司在苏州相城与成都天府新区设双基地,产品覆盖MEMS、化合物半导体、3D封装及AR与Micro LED等

🔥犀利点评

别被「杀入欧洲」的标题冲昏头,HISIGK做的是掩模对准和350纳米级步进机,和ASML的EUV、DUV不在一个赛道,主攻的是科研院所和特色工艺市场。但这恰恰说明问题:国产光刻机先从成熟制程和细分市场赚真金白银、攒交付口碑,是务实路线。17台出口是真实订单而非展台样机,可靠性得到国际客户背书,这比喊口号值钱得多。

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