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Gigaphoton推出氖气回收系统,宣称回收率达50%

原标题: Gigaphoton推出氖气回收系统,宣称回收率达50%

TomsHardware·2026/10/6 13:20:00🔗 原文

📋总体概括

日本准分子激光光源厂商Gigaphoton推出氖气回收系统,宣称可将DUV光刻用氖气回收率提升至50%。这一技术直指芯片制造对氖气的高度依赖——俄乌冲突曾暴露氖气供应链脆弱性。但文章同时指出,随着EUV等新光刻技术逐步替代DUV,此类回收方案可能只是过渡期的权宜之计,长期需求逻辑或发生改变。

⚡关键信息

  • ▸Gigaphoton推出新型氖气回收系统,宣称回收率可达50%
  • ▸回收系统面向使用DUV光刻的主要芯片制造商
  • ▸氖气是DUV准分子激光的关键气体耗材
  • ▸俄乌冲突曾暴露全球氖气供应高度集中、供应链脆弱
  • ▸随着DUV被新技术逐步替代,回收方案可能只是临时性需求

🔥犀利点评

Gigaphoton这步棋本质上是在给DUV时代的软肋打补丁——氖气命门握在别人手里的滋味,台积电们已经尝过一次了。50%回收率听着漂亮,但别高兴太早:EUV不需要氖,DUV被替代的速度越快,这套系统的商业生命周期就越短。与其说是技术突破,不如说是供应链焦虑催生的过渡产品,真正的解法从来不是回收,而是换赛道。

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