用时不到两年半：英特尔 High-NA EUV 晶圆处理量突破百万片，超越其他厂商总和

📋总体概括

英特尔宣布其High-NA EUV光刻设备累计处理的300mm晶圆突破100万片，距首台设备完成组装不到两年半。目前英特尔拥有两台ASML Twinscan EXE:5000原型机及至少一台EXE:5200B量产机，2025年2月累计仅约3万片，一年半内增长逾30倍。参照ASML 2026年Q1披露的行业累计50万片数据，英特尔一家处理量已超其他所有用户总和。该技术已通过Intel 18A节点验证，并用于生产Panther Lake酷睿Ultra处理器。