统治40年的EUV光刻胶要换了【咖啡字幕组·精校中字】

📌 概要

https://www.youtube.com/watch?v=YabClB_93RA 原视频频道：Asianometry。转载视频，仅供技术交流。本期视频探讨了化学放大光刻胶（CARs）在半导体领域的主导地位，以及EUV工艺引入后，金属氧化物和干法光刻胶等新型材料的发展与应用。