中微公司 Primo Domingo 全球首台付运，面向 GAA 与 3D DRAM 高选择性刻蚀

📋总体概括

中微公司宣布其Primo Domingo气相高选择性刻蚀设备全球首台机付运国内一家重要集成电路研发制造客户。该设备今年3月发布，面向GAA晶体管、3D NAND和3D DRAM等下一代三维器件工艺，此次付运标志产品从发布进入客户端实际验证阶段。芯片架构从平面走向三维是先进制程与存储缩微的主要路径，而高选择性刻蚀决定三维器件能否在良率可控前提下制造。中微称该设备填补了国内下一代3D半导体器件关键刻蚀工艺自主化的空白，是国产半导体设备向先进制程核心环节渗透的重要节点。