供应链🔥7.0

浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片:化学纯度达 99.99998%,填补国内相关材料空白

IT之家·2026/10/22 07:54:09🔗 原文

📋总体概括

浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队在第二届量子科技前沿论坛上,国内首发硅-28硅烷特气与4英寸硅-28外延片。经中国计量科学研究院检测,特气同位素丰度99.99576%、化学纯度99.99998%;外延层丰度99.9937%,转化过程无明显同位素稀释。该成果由杨德仁院士与余林蔚教授带领,属国家级课题阶段性进展,补齐了硅-28从同位素富集到外延基材的完整材料链条,为硅基量子芯片提供无核自旋噪声的理想衬底。

⚡关键信息

  • ▸浙大团队国内首次同时发布硅-28硅烷特气与4英寸外延片,填补国内材料空白
  • ▸硅-28特气化学纯度达99.99998%,同位素丰度99.99576%,经中国计量科学研究院检测
  • ▸外延层硅-28丰度99.9937%,与气源同量级,说明转化过程无显著同位素稀释
  • ▸硅-28核自旋为零,无核自旋噪声,是硅基量子芯片最理想衬底材料
  • ▸此前中核集团6月已实现丰度超99.99%的硅-28自主量产,但未打通外延转化环节

🔥犀利点评

这次发布真正的含金量不在于纯度数字多漂亮,而在于把同位素富集到外延片这条断链焊上了——此前中核只做到特气,下游转化是空白。硅-28分离是出了名的难啃,三种同位素化学性质几乎一样,靠的是极耗成本的离心分离工艺。不过也别急着吹「量子芯片自主化」:4英寸尺寸、99.99%量级的丰度距离量子器件真正量产所需的更高丰度和更大晶圆,还有不少台阶要爬。这是从0到1,离从1到100远得很。

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