中国初创公司展示EUV光源原型机

📋总体概括

中国初创公司朗铎科技（Langdao Silex）在某展会上公开展示了其激光产生等离子体（LPP）EUV光源原型机，引发产业关注。但业界判断，该原型距离可用功率水平仍需多年迭代，而即便光源功率达标，要组装出一台实用的EUV光刻机，中国还需在光学、双工件台、光刻胶等多环节取得更多突破。此展示反映中国在EUV领域的探索已从概念走向原型验证，但离产业化仍有漫长距离。