重大突破！国产EUV光源样机首秀：国产化率达90%

📋总体概括

在第二十六届中国国际工业博览会上，朗道燧岩首次公开展示EUV光源系统样机，为目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机。该系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。极紫外光源是7nm及以下先进制程芯片制造的核心零部件之一，长期受海外垄断与禁运限制。此次展示标志着国产EUV光源从实验室走向产业化的关键一步，但距离量产仍需3至5年。