朗道燧岩国产 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年

📋总体概括

朗道燧岩在2026年第26届中国国际工业博览会上首次公开展示国产极紫外（EUV）光源系统样机，为目前公开展示中国产进度最靠前的EUV光源样机。该系统国产化率达90%，核心零部件多为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。EUV光源是7nm及以下先进制程芯片制造的核心部件，长期受海外禁运限制。官网显示其高功率FlintMicro-LPP系列已完成原理论证，低功率FlintNano-LPP系列处于产品化阶段，但距离量产仍需3~5年。