国产光刻机突围！海思8英寸全自动光刻机发运：专攻Micro LED芯片制造

📋总体概括

10月13日，江苏海思半导体一台8英寸全自动掩模对准光刻机完成出厂调试与客户验收并正式发运。该设备面向200毫米晶圆的硅基Micro LED图形化制程，配备双SMIF自动天车上下料与两套独立双机械手臂传输系统，支持批量自动化运行；正面对准精度优于正负0.5微米，可选背面对准模块精度优于正负2微米，并采用全自动三点式气悬浮找平技术，可应对薄片及翘曲晶圆的曝光需求。这是国产光刻设备在Micro LED这一新兴显示芯片细分赛道上的落地案例，对国产半导体装备在专用工艺环节的突围具有参考意义。