华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

📋总体概括

中国台湾半导体设备商华洋精机于10月5日宣布与蔡司（ZEISS）合作推出高精度测量设备COSMA-M，瞄准光罩（掩膜）、先进封装及晶圆领域的测量需求。该设备可提供纳米级测量精度，稳定度达3σ小于3nm，配合模块可实现全自动化测量，应用范围覆盖DUV掩膜、先进封装、TGV、CPO等领域，目前已进入潜在客户的送样验证测试阶段。华洋精机借与蔡司的品牌与技术合作切入先进制程量测赛道，是台湾设备供应链向高端量测设备延伸的一次尝试。