DUV造3nm，中科院上桌了吗？

📋 总体概括

中科院公布新型GAA晶体管架构，用DUV光刻机做出开关比超50万倍的器件，理论上解锁3nm等效性能。本文拆解其原理、DUV天花板、前中后道工艺的真实堵点，以及这条路径的产业分量。